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壓電加速度傳感器的工藝結構
編輯:杭州有限公司   時間:2021-10-25

  壓電加速度傳感器的傳感元件為壓電晶體。若沿壓電晶體的極化方向施加一外力使其變形,則壓電晶體內部發生極化,受力的兩端面出現極性相反的電荷,若撤去外力,則壓電晶體康復到初始狀況,這就是正壓電效應。若沿壓電晶體的極化方向施加一電場,則壓電晶體出現變形,若撤去電場,則壓電晶體康復到初始狀況,這就是逆壓電效應。壓電加速度傳感器就是應用了壓電晶體的正壓電效應,將機械能轉換為電能,然后完成對振蕩加速度信號的測量。

  壓電加速度傳感器是根據壓電晶體的壓電效應作業的。某些晶體在一定方向上受力變形時,其內部會發生極化現象,同時在它的兩個外表上發生符號相反的電荷;當外力去除后,又從頭康復到不帶電狀況,這種現象稱為“壓電效應”,具有“壓電效應”的晶體稱為壓電晶體。常用的壓電晶體有石英、壓電陶瓷等。

  常用的壓電式加速度計的結構方法。S是繃簧,M是質量塊,B是基座,P是壓電元件,R是夾持環。當地裝置緊縮型,壓電元件—質量塊—繃簧系統裝在圓形中心支柱上,支柱與基座聯接。這種結構有高的共振頻率。但是基座B與測試目標聯接時,假設基座B有變形則將直接影響拾振器輸出。此外,測試目標和環境溫度改變將影響壓電元件,并使預緊力發生改變,易惹起溫度漂移。圖c為三角剪切形,壓電元件由夾持環將其夾牢在三角形中心柱上。加速度計感觸軸向振蕩時,壓電元件接受切應力。這種結構對底座變形和溫度改變有極好的阻隔效果,有較高的共振頻率和良好的線性。圖b為環形剪切型,結構簡略,能做成極小型、高共振頻率的加速度計,環形質量塊粘到裝在中心支柱上的環形壓電元件上。因為粘結劑會隨溫度增高而變軟,因此作業溫度遭到限制。


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